Автор:
| Название: | Приборная реализация и применение микро-процессорных сенсоров | 
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Производственно-практическое | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Аннотация: | В статье рассматривается функциональная схема и области применения микроэлектромеханических систем. Подчеркиваются достоинства МЭМС-устройств. Предлагаются некоторые новые подходы в связи со сложностью изготовления наноразмерных механических структур | |
| Дата издания: | 2021 | |
| Дата загрузки: | 05.10.2022 | |
| Издательство: | РИО ПГАУ | |