Автор: Колесников Александр Владимирович

Название:Полупроводниковая МЭМС на базе структуры «кремний на диэлектрике»
Тематика:техника
Вид ресурса:электронная копия бумажного издания
Тип ресурса:Сборник статей, трудов
Целевое назначение:Производственно-практическое
Целевая аудитория:Исследователь
Аннотация:Целью работы является разработка полупроводниковых МЭМС-датчиков давления на базе раннее разработанных методик расчётов, алгоритмов и компьютерных программ, реализующих установленные оптимальные соотношения между параметрами микроэлектромеханической системы и обеспечивающие повышенную точность измерения, чувствительность, линейность. Конструкции полупроводниковых МЭМС-датчиков давления, созданные с использованием этих инженерных методик расчета, обеспечивают повышение чувствительности, значительное уменьшение погрешности нелинейности. Применение разработанных методик, алгоритма и программы позволило повысить точность расчетов микроэлектромеханической системы более чем в 7 раз (погрешность расчетов снижена с 55 до 6,6 %)
Дата издания:2024
Дата загрузки:03.09.2024
Издательство:Издательство ПГУ