Главная
» Электронная библиотека » Полупроводниковая МЭМС на базе структуры «кремний на диэлектрике»
Полупроводниковая МЭМС на базе структуры «кремний на диэлектрике»
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Головяшкин Алексей Николаевич [50]  , Баннов Валерий Яковлевич [25] , Соловьев Виталий Анатольевич [25] , Колесников Александр Владимирович [0] | |
| Аннотация: | Целью работы является разработка полупроводниковых МЭМС-датчиков давления на базе раннее разработанных методик расчётов, алгоритмов и компьютерных программ, реализующих установленные оптимальные соотношения между параметрами микроэлектромеханической системы и обеспечивающие повышенную точность измерения, чувствительность, линейность. Конструкции полупроводниковых МЭМС-датчиков давления, созданные с использованием этих инженерных методик расчета, обеспечивают повышение чувствительности, значительное уменьшение погрешности нелинейности. Применение разработанных методик, алгоритма и программы позволило повысить точность расчетов микроэлектромеханической системы более чем в 7 раз (погрешность расчетов снижена с 55 до 6,6 %) | |
| Тип: | Сборник статей, трудов | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2024 | |
| Издательство: | Издательство ПГУ | |
| Где опубликовано: | Сборник трудов симпозиума | |
| Место опубликования: | Издательство ПГУ | |
| Индексация: | РИНЦ | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Производственно-практическое | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | ПГУ | |
| ISSN: | 2220-6418 | |
| УДК: | 621.382 | |
| Библиографическая ссылка: | Полупроводниковая МЭМС на базе структуры «кремний на диэлектрике» / В. Я. Баннов, А. Н. Головяшкин, В. А. Соловьев [и др.] // Труды международного симпозиума "Надежность и качество". – 2024. – Т. 2. – С. 160-164. | |
| Страницы (с ... по ...): | 160-164 | |
| Том: | 2 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Вне ПГУ | |
| Дата размещения: | 03.09.2024 | |
| Владелец: | Головяшкин Алексей Николаевич | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1725389527  | |
| Формат: | Не указан |