Автор: Уткин Кирилл Эдуардович

Название:Управляемый синтез тонких пленок, полученных методом магнетронного распыления
Тематика:техника
Вид ресурса:электронная копия бумажного издания
Тип ресурса:Статья
Целевое назначение:Научное
Целевая аудитория:Исследователь
Дата издания:2018
Дата загрузки:30.11.2018
Издательство:Издательство Пензенского государственного университета. Технические науки