Управляемый синтез тонких пленок, полученных методом магнетронного распыления

Категория: техника
Авторы (ПГУ): Абсалямова Виктория Александровна [0]  , Торгашин Сергей Иванович [35]  , Уткин Кирилл Эдуардович [35]  , Хошев Александр Вячеславович [30]  
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2018
Издательство: Издательство Пензенского государственного университета. Технические науки
Индексация: РИНЦ
Целевая аудитория: Исследователь
Целевое назначение: Научное
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: К.Э. Уткин, С.И. Торгашин, А.В. Хошев
Библиографическая ссылка: Уткин К.Э. Управляемый синтез тонких пленок, полученных методом магнетронного распыления / К.Э. Уткин, С.И. Торгашин, А.В. Хошев // ИЗМЕРЕНИЕ. МОНИТОРИНГ. УПРАВЛЕНИЕ. КОНТРОЛЬ, № 2(24). - Изд-во ПГУ, 2018
Внешняя веб-ссылка: https://elibrary.ru/item.asp?id=35250297
Язык: Русский
Место хранения:Электронная библиотека ПГУ
Дата размещения:30.11.2018
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/12560300
Формат: Не указан