Использование слоя двуокиси кремния для создания чувствительных элементов высокотемпературных тензорезистивных датчиков

Категория: техника
Авторы (ПГУ): Волков Вадим Сергеевич [50]  , Волкова Наталия Валентиновна [50]  , Рыблова Елизавета Анатольевна [0]  
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2017
Издательство: Изд. ПГУ
Где опубликовано: Сборник трудов конференции
Индексация: РИНЦ
Целевая аудитория: Исследователь
Целевое назначение: Научное
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: ПГУ
Внешняя веб-ссылка: https://elibrary.ru/item.asp?id=32568478
Язык: Русский
Место хранения:ИР открытого доступа
Дата размещения:28.11.2018
Владелец:Волков Вадим Сергеевич
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/10595500