Research of metallic films growth processes

ИР автоматически получен из ЭБС Scoupus
Категория: физико-математические науки
Авторы (ПГУ): Аверин Игорь Александрович [100]  
Тип: Статья
Вид: электронное немультимедийное издание
Количество частей: 1
Год издания: 2003
Место опубликования: International Workshop and Tutorials on Electron Devices and Materials, EDM - Proceedings
Индексация: Scopus, входящем в 3(Q3) и 4 (Q4) квартили (тип документа Article, Review, Proceedings Paper, Book Chapter)
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
DOI: 10.1109/SREDM.2003.1224183
Внешняя веб-ссылка: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84943157558&origin=inward
Язык: Русский
Дата размещения:06.11.2019
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/1572993485