Главная
» Электронная библиотека » Формирование пленок поликристаллического кремния методом разложения моносилана
Формирование пленок поликристаллического кремния методом разложения моносилана
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Спицына Ксения Юрьевна [100]  | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2018 | |
| Издательство: | Пензенский государственный университет (Пенза) | |
| Где опубликовано: | Сборник трудов конференции | |
| Индексация: | РИНЦ | |
| Целевая аудитория: | Учащийся | |
| Целевое назначение: | Научно-популярное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | АО «Научно-исследовательский институт физических измерений» | |
| Библиографическая ссылка: | Сборник докладов конференции: Международная научно-техническая конференция "Методы, средства и технологии получения и обработки информации" "Шляндинские чтения- 2018" (19 – 21 ноября 2018 г – очная конференция) – Пенза: Изд-во ПГУ. - C. 134 - 137 | |
| Страницы (с ... по ...): | 134-137 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=36636451 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Электронная библиотека ПГУ | |
| Дата размещения: | 28.11.2020 | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1606516945  | |
| Формат: | Не указан |