Главная
» Электронная библиотека » МЕТОД МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР
МЕТОД МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Зинченко Тимур Олегович [0]  , Печерская Екатерина Анатольевна [100] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2021 | |
| Издательство: | Изд. ПГУ | |
| Индексация: | РИНЦ | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Печерская Е.А., Зинченко Т.О. | |
| Библиографическая ссылка: | МЕТОД МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР Зинченко Т.О., Печерская Е.А. В книге: Актуальные проблемы физической и функциональной электроники. Материалы 23-й Всероссийской молодежной научной конференции. 2020. С. 192-193. | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://elibrary.ru/item.asp?id=44307276 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Вне ПГУ | |
| Дата размещения: | 26.11.2021 | |
| Владелец: | Печерская Екатерина Анатольевна | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1634840371  | |
| Формат: | Не указан |