ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СВЕРХТОНКИХ ПОКРЫТИЙ

Категория: техника
Авторы (ПГУ): Ишков Антон Сергеевич [100]  , Сарайкин Александр Александрович [0]  , Земляков Дмитрий Викторович [0]  , Антонов Антон Алексеевич [0]  
Аннотация: Известно, что нанопокрытие предохраняет поверхности изделий от механических, химических и биологических воздействий. Ключевым параметром для оценки качества покрытия является его толщина, которую необходимо контролировать. В работе приведены преимущества использования неразрушающих методов контроля для измерения толщины нанопокрытий. Выбор технологии и приборов для ее контроля производят с учетом множества факторов: необходимая точность, внешний вид и материал покрытия, износоустойчивость, минимизация расходов, потраченных на нанесение покрытий. Предлагается методика построения измерительного прибора, который фиксирует сдвиг резонансной частоты, по которой и устанавливается скорость роста пленки. Предложен принцип работы прибора, который заключается в использовании эффекта изменения резонансной частоты кварцевого кристалла при изменении его массы. Приводится разработанная структурная и функциональная схемы прибора. Выбран и обоснован метод измерения толщины с помощью кварцевого резонатора. Предложена схема подключения датчика к электронному блоку толщиномера.
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2022
Издательство: Изд. ПГУ
Индексация: РИНЦ
Целевая аудитория: Исследователь
Целевое назначение: Нормативное производственно-практическое
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: ПГУ
Библиографическая ссылка: Прибор для измерения толщины сверхтонких покрытий / А. С. Ишков, А. А. Антонов, А. А. Сарайкин, Д. В. Земляков // Инжиниринг и технологии. – 2022. – Т. 7. – № 1. – С. 63-67. – DOI 10.21685/2587-7704-2022-7-1-14.
Внешняя веб-ссылка: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49551567
Язык: Русский
Место хранения:Вне ПГУ
Дата размещения:03.11.2022
Владелец:Ишков Антон Сергеевич
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/1667418155
Формат: Не указан