Главная
» Электронная библиотека » МОРФОЛОГИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ТОНКИХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ МАГНЕТРОННЫМ ВЧ-РАСПЫЛЕНИЕМ И ТЕРМИЧЕСКИМ ИСПАРЕНИЕМ В ВАКУУМЕ
МОРФОЛОГИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ТОНКИХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ МАГНЕТРОННЫМ ВЧ-РАСПЫЛЕНИЕМ И ТЕРМИЧЕСКИМ ИСПАРЕНИЕМ В ВАКУУМЕ
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Пронин Игорь Александрович [34]  , Якушова Надежда Дмитриевна [33] , Карманов Андрей Андреевич [33] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2023 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Место опубликования: | НАНО- И МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА | |
| Индексация: | RSCI | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Издательство | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54376385 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Вне ПГУ | |
| Дата размещения: | 18.10.2023 | |
| Владелец: | Пронин Игорь Александрович | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1697629932  | |
| Формат: | Не указан |