Исследование поликристаллических пленок кремния, химически осажденных из газовой фазы//Информационные технологии в науке и образовании. Проблемы и перспективы.2018. С. 263-265.

Категория: техника
Файл не загружен в библиотеку
Авторы (ПГУ): Печерская Екатерина Анатольевна [100] , Крайнова Ксения Юрьевна [0] 
Аннотация: https://elibrary.ru/item.asp?id=35396735
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2018
Издательство: Издательство ПГУ
Индексация: РИНЦ
Целевая аудитория: Исследователь
Целевое назначение: Научное
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: Крайнова К.Ю., Печерская Е.А.
Язык: Русский
Комментарии: https://elibrary.ru/item.asp?id=35396735
Место хранения:ПГУ, вне электронной библиотеки
Дата загрузки ИР: 09.11.2018Владелец ИР: Печерская Екатерина Анатольевна
Ссылка на ресурс: