Некоторые конструктивно-технологические особенности создания полупроводниковых чувствительных элементов датчиков давления

Категория: техника
Авторы (ПГУ): Тразанов Дмитрий Владиславович [35]  , Тугускин Александр Андреевич [35]  , Цыпин Борис Вульфович [30]  
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2023
Издательство: Изд. ПГУ
Где опубликовано: Сборник трудов симпозиума
Место опубликования: Надежность и качество
Индексация: РИНЦ
Целевая аудитория: Исследователь, Преподаватель
Целевое назначение: Научное
Отрасль науки: 05.11.16 Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: ПГУ
Библиографическая ссылка: Некоторые конструктивно-технологические особенности создания полупроводниковых чувствительных элементов датчиков давления / Д.В. Тразанов, А.А. Тугускин, Б.В. Цыпин // Надежность и качество: тр XXVIII Междунар. симп.: в 2 т. - Пенза: Изд-во ПГУ, 2023. - Т.2. - С. 183-183
Страницы (с ... по ...): 183-186
Внешняя веб-ссылка: https://elibrary.ru/item.asp?id=53972037
Язык: Русский
Место хранения:ИР открытого доступа
Дата размещения:15.10.2024
Владелец:Цыпин Борис Вульфович
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/1728988847
Формат: Не указан