Главная
» Электронная библиотека » Моделирование чувствительного элемента датчика давления в виде гофрированной кремниевой мембраны
Моделирование чувствительного элемента датчика давления в виде гофрированной кремниевой мембраны
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Базыкин Сергей Николаевич [25] , Волков Вадим Сергеевич [25] , Волкова Наталия Валентиновна [25] , Самохина Кристина Сергеевна [25] , Бардин Виталий Анатольевич [0] ![]() | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2024 | |
| Издательство: | Изд. ПГУ | |
| Где опубликовано: | Журнал | |
| Место опубликования: | ПГУ | |
| Индексация: | ВАК К2 (тип публикации Научная статья) | |
| Целевая аудитория: | Промышленность | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | ПГУ | |
| Библиографическая ссылка: | Волков В. С., Базыкин С. Н., Бардин В. А., Самохина К. С., Волкова Н. В. Моделирование чувствительного элемента датчика давления в виде гофрированной кремниевой мембраны // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2024. № 4. С. 76–83. doi: 10.21685/2307-5538-2024-4-9 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://imuk.pnzgu.ru/imuk9424 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Электронная библиотека ПГУ | |
| Дата размещения: | 25.10.2025 | |
| Владелец: | Базыкин Сергей Николаевич | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1761382276 | |
| Формат: | Не указан |

