Моделирование чувствительного элемента датчика давления в виде гофрированной кремниевой мембраны

Категория: техника
Авторы (ПГУ): Базыкин Сергей Николаевич [25]  , Волков Вадим Сергеевич [25]  , Волкова Наталия Валентиновна [25]  , Самохина Кристина Сергеевна [25]  , Бардин Виталий Анатольевич [0]  
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2024
Издательство: Изд. ПГУ
Где опубликовано: Журнал
Место опубликования: ПГУ
Индексация: ВАК К2 (тип публикации Научная статья)
Целевая аудитория: Промышленность
Целевое назначение: Научное
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: ПГУ
Библиографическая ссылка: Волков В. С., Базыкин С. Н., Бардин В. А., Самохина К. С., Волкова Н. В. Моделирование чувствительного элемента датчика давления в виде гофрированной кремниевой мембраны // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2024. № 4. С. 76–83. doi: 10.21685/2307-5538-2024-4-9
Внешняя веб-ссылка: https://imuk.pnzgu.ru/imuk9424
Язык: Русский
Место хранения:Электронная библиотека ПГУ
Дата размещения:25.10.2025
Владелец:Базыкин Сергей Николаевич
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/1761382276
Формат: Не указан