Главная
» Электронная библиотека » ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ГАЗОДИНАМИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ РАСПЫЛЕНИЯ НА КАЧЕСТВО ТОНКИХ ПЛЕНОК ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ОКСИДОВ
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ГАЗОДИНАМИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ РАСПЫЛЕНИЯ НА КАЧЕСТВО ТОНКИХ ПЛЕНОК ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ОКСИДОВ
| Категория: | физико-математические науки |
Скачивание доступно только для авторизованных пользователей
|
| Авторы (ПГУ): | Зинченко Тимур Олегович [100]  | |
| Аннотация: | Прозрачные проводящие оксиды (ППО) находят широкое применение в современной опто-электронике благодаря уникальному сочетанию высокой электропроводности и оптической прозрачности в видимом диапазоне спектра. Метод спрей-пиролиза является одним из наиболее перспективных технологических процессов получения тонкопленочных покрытий ППО, однако качество получаемых пленок критически зависит от газодинамических пара-метров распыления.В работе исследовалось влияние скорости газа-носителя, давления рас-пыления, температуры подложки и концентрации прекурсора на морфологию, кристалличе-скую структуру и электрофизические свойства тонких пленок оксида индия-олова (ITO) и оксида цинка, легированного алюминием (AZO). Использовались методы рентгенострук-турного анализа, оптической спектроскопии и измерения электропроводности четырехзон-довым методом.Установлено, что оптимальная скорость газа-носителя составляет 2.5–3.0л/мин при давлении 0.15–0.20 МПа для получения пленок ITO с минимальным сопро-тивлением (8.2·10-4Ом·см) и максимальной прозрачностью (88% в видимом диапазоне). Увеличение температуры подложки с 350°C до 450°C приводит к улучшению кристаллич-ности пленок и снижению удельного сопротивления на 40%. Математическая модель про-цесса показала корреляцию между числом Рейнольдса газового потока и однородностью толщины пленки.Полученные результаты демонстрируют критическую важность оптими-зациигазодинамических параметров для получения тонких пленок ППО. Разработанная ма-тематическая модель позволяет прогнозировать свойства пленок в зависимости от техноло-гических параметров и может быть использована для оптимизации промышленных процессов производства прозрачных электродов для солнечных элементов и дисплеев. | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2025 | |
| Издательство: | Издательский центр Пермского Государственного национального исследовательского университета | |
| Где опубликовано: | Журнал | |
| Место опубликования: | Вестник Пермского университета. Физика | |
| Индексация: | ВАК К2 (тип публикации Научная статья) | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Отрасль науки: | 01.04.07 Физика конденсированного состояния | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Зинченко Тимур Олегович | |
| Библиографическая ссылка: | Зинченко, Т. О. Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов / Т. О. Зинченко // Вестник Пермского университета. Физика. – 2025. – № 3. – С. 61-68. – DOI 10.17072/1994-3598-2025-3-61-68 | |
| Страницы (с ... по ...): | 61-68 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Вне ПГУ | |
| Дата размещения: | 14.11.2025 | |
| Владелец: | Зинченко Тимур Олегович | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1763125291  | |
| Формат: | Электронный |