Optimization of Deposition Parameters for Thin-Film Semiconductor Structures via Spray Pyrolysis

Категория: техника
Авторы (ПГУ): Зинченко Тимур Олегович [60]  , Александров Владимир Сергеевич [0]  , Печерская Екатерина Анатольевна [40]  , Гурин Сергей Александрович [0]  , Новичков Максим Дмитриевич [0]  , Козлов Геннадий Васильевич [0]  
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2025
Издательство: IEEE
Место опубликования: 2025 IEEE 26th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM)
Индексация: Scopus без квартиля (тип публикации Article)
Целевая аудитория: Исследователь
Целевое назначение: Научное
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: IEEE
Библиографическая ссылка: T. Zinchenko, E. Pecherskaya, S. Gurin, M. Novichkov, V. Alexandrov and G. Kozlov, "Optimization of Deposition Parameters for Thin-Film Semiconductor Structures via Spray Pyrolysis," 2025 IEEE 26th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM), Altai, Russian Federation, 2025, pp. 130-134, doi: 10.1109/EDM65517.2025.11096645
Внешняя веб-ссылка: http://doi: 10.1109/EDM65517.2025.11096645
Язык: Русский
Место хранения:Вне ПГУ
Дата размещения:27.11.2025
Владелец:Печерская Екатерина Анатольевна
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/1764167906
Формат: Не указан