Главная
» Электронная библиотека » Технология получения пьезоструктур нитрида алюминия для создания микрорезонатора
Технология получения пьезоструктур нитрида алюминия для создания микрорезонатора
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Печерская Екатерина Анатольевна [100]  , Агафонов Дмитрий Вячеславович [0] , Гурин Сергей Александрович [0] , Новичков Андрей Александрович [0] , Новичков Максим Дмитриевич [0] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2026 | |
| Издательство: | ООО "Издательство "Новые технологии" (Москва) | |
| Место опубликования: | Нано- и микросистемная техника | |
| Индексация: | RSCI | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Е. А. Печерская, С. А. Гурин, Д.В. Агафонов, М. Д. Новичков, В. А. Ильин. | |
| Библиографическая ссылка: | Е. А. Печерская, С. А. Гурин, Д.В. Агафонов, М. Д. Новичков, В. А. Ильин. Технология получения пьезоструктур нитрида алюминия для создания микрорезонатора // Нано- и микросистемная техника №5, 2026 г. C. 226—231. DOI: 10.17587/nmst.28.226-231 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=93376287 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Вне ПГУ | |
| Дата размещения: | 11.10.2026 | |
| Владелец: | Печерская Екатерина Анатольевна | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1791750076  | |
| Формат: | Не указан |