Главная
» Электронная библиотека » Особенности технологии изготовления тензорезистивного датчика абсолютного давления
Особенности технологии изготовления тензорезистивного датчика абсолютного давления
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Трофимов Алексей Анатольевич [100]  , Хрянин Сергей Сергеевич [0] , Рузняев Антон Олегович [0] | |
| Аннотация: | Рассматриваются современные подходы к проектированию тензорезистивных датчиков абсолютного давления. Приведены особенности применения тонкопленочных технологий при создании чувствительных элементов, описаны основные требования к материалам и диэлектрическим пленкам, рассмотрены конструктивные решения, обеспечивающие снижение температурных погрешностей и повышение надежности. Отмечена роль математического моделирования в оптимизации параметров мембраны. Сделан вывод о перспективах развития датчиков давления в рамках теории и практики построения преобразователей и датчиков. | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2025 | |
| Издательство: | издателство ПГУ | |
| Где опубликовано: | Сборник трудов конференции | |
| Место опубликования: | ФГБОУ ВО Пензенский государственный университет | |
| Индексация: | РИНЦ | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Трофимов А.А. | |
| УДК: | 621.317.39 | |
| Библиографическая ссылка: | Трофимов А.А., Хрянин С.С., Рузняев А.О. Особенности технологии изготовления тензорезистивного датчика абсолютного давления // Сб. трудов XXXVI Международной научно-технической конференции «Проблемы автоматизации и управления в технических системах». Пенза, 2025. С. 151-157. | |
| Страницы (с ... по ...): | 151-157 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://elibrary.ru/item.asp?id=89112106 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | ИР открытого доступа | |
| Дата размещения: | 14.10.2026 | |
| Владелец: | Трофимов Алексей Анатольевич | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1791991857  | |
| Формат: | Не указан |