Применение методов селективного травления кремния для оценки качества пластин при изготовлении микромеханических датчиков // Модели, системы, сети в экономике, технике, природе и обществе. - №1, 2018. - С. 72 – 80

Категория: техника
Файл не загружен в библиотеку
Авторы (ПГУ): Печерская Екатерина Анатольевна [80] , Печерский Анатолий Вадимович [20] , Абдуллин Фархад Анвярович [0] 
Аннотация: https://mss.pnzgu.ru/mss118
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2018
Издательство: Изд. ПГУ
Где опубликовано: Журнал
Индексация: ВАК (или закрытый сборник научных работ)
Целевая аудитория: Исследователь
Целевое назначение: Научное
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: Печерская Е.А., Абдуллин Ф.А., Пауткин В.Е., Печерский А.В
Язык: Русский
Комментарии: https://mss.pnzgu.ru/mss118
Место хранения:ПГУ, вне электронной библиотеки
Дата загрузки ИР: 09.11.2018Владелец ИР: Печерская Екатерина Анатольевна
Ссылка на ресурс: