Главная
» Электронная библиотека » Применение методов селективного травления кремния для оценки качества пластин при изготовлении микромеханических датчиков // Модели, системы, сети в экономике, технике, природе и обществе. - №1, 2018. - С. 72 – 80
Применение методов селективного травления кремния для оценки качества пластин при изготовлении микромеханических датчиков // Модели, системы, сети в экономике, технике, природе и обществе. - №1, 2018. - С. 72 – 80
| Категория: | техника |
Файл не загружен в библиотеку
|
| Авторы (ПГУ): | Печерская Екатерина Анатольевна [80]  , Печерский Анатолий Вадимович [20] , Абдуллин Фархад Анвярович [0] | |
| Аннотация: | https://mss.pnzgu.ru/mss118 | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2018 | |
| Издательство: | Изд. ПГУ | |
| Где опубликовано: | Журнал | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Печерская Е.А., Абдуллин Ф.А., Пауткин В.Е., Печерский А.В | |
| Язык: | Русский | |
| Комментарии: | https://mss.pnzgu.ru/mss118 | |
| Место хранения: | ПГУ, вне электронной библиотеки | |
| Дата размещения: | 09.11.2018 | |
| Владелец: | Печерская Екатерина Анатольевна | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/22242000  | |
| Формат: | Не указан |