Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке

Категория: техника
Авторы (ПГУ): Пронин Игорь Александрович [25]  , Якушова Надежда Дмитриевна [25]  , Карманов Андрей Андреевич [25]  , Аверин Игорь Александрович [25]  
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2018
Издательство: Наука
Индексация: ВАК (или закрытый сборник научных работ)
Целевая аудитория: Исследователь
Целевое назначение: Научное
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: Наука
Библиографическая ссылка: Бобков А.А., Пронин И.А., Мошников В.А., Якушова Н.Д., Карманов А.А., Аверин И.А., Сомов П.А., Теруков Е.И. Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке // Письма в журнал технической физики. – 2018. – Т. 44. – №15. – С. 87-92.
Внешняя веб-ссылка: https://elibrary.ru/item.asp?id=35270693
Язык: Русский
Место хранения:Вне ПГУ
Дата размещения:19.11.2018
Владелец:Аверин Игорь Александрович
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/9142800