Главная
» Электронная библиотека » Механизм формирования кратеров на поверхности кремния при анизотропном травлении в растворе гидроксида калия
Механизм формирования кратеров на поверхности кремния при анизотропном травлении в растворе гидроксида калия
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Торгашин Сергей Иванович [50]  , Пауткин Валерий Евгеньевич [50] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2018 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Индексация: | РИНЦ | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Торгашин С.И., Пауткин В.Е. | |
| Библиографическая ссылка: | Торгашин С.И. Механизм формирования кратеров на поверхности кремния при анизотропном травлении в растворе гидроксида калия / Торгашин С.И., Пауткин В.Е. // Нано- и микросистемная техника, №6. - Издательство "Новые технологии". - М., 2018 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://elibrary.ru/item.asp?id=35154789 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Электронная библиотека ПГУ | |
| Дата размещения: | 30.11.2018 | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/12424800  | |
| Формат: | Не указан |