Автор: Пауткин Валерий Евгеньевич
| Название: | Механизм формирования кратеров на поверхности кремния при анизотропном травлении в растворе гидроксида калия | 
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Дата издания: | 2018 | |
| Дата загрузки: | 30.11.2018 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Название: | Технологические аспекты формирования первичных измерительных преобразователей микромеханических акселерометров |
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Производственно-практическое | |
| Целевая аудитория: | Промышленность | |
| Дата издания: | 2019 | |
| Дата загрузки: | 16.12.2021 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Название: | Технологические аспекты формирования первичных измерительных преобразователей микромеханических акселерометров |
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Дата издания: | 2019 | |
| Дата загрузки: | 22.11.2019 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Название: | Technological Aspects of Formation of the Primary Measuring Transducers for the Micromechanical Accelerometers |
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Дата издания: | 2019 | |
| Дата загрузки: | 18.12.2019 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Название: | Technological Aspects of Formation of the Primary Measuring Transducers for the Micromechanical Accelerometers |
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Дата издания: | 2019 | |
| Дата загрузки: | 18.12.2019 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Название: | Особенности применения схем компенсации углового растравливания при формировании МЭМС-структур |
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Дата издания: | 2019 | |
| Дата загрузки: | 25.11.2019 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Название: | Технологические аспекты формирования первичных измерительных преобразователей микромеханических акселерометров |
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Дата издания: | 2019 | |
| Дата загрузки: | 25.11.2019 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Название: | Конструктивно-технологические решения, определяющие геометрию формируемых микромеханических структур при анизотропном травлении кремния |
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Производственно-практическое | |
| Целевая аудитория: | Промышленность | |
| Дата издания: | 2017 | |
| Дата загрузки: | 28.11.2020 | |
| Издательство: | Союз общественных объединений "Международное научно-техническое общество приборостроителей и метрологов" (Москва) | |
| Название: | Особенности травления высолегированного p+-кремния в технологии микроэлектромеханических систем |
|
| Тематика: | техника | |
| Вид ресурса: | электронная копия бумажного издания | |
| Тип ресурса: | Статья | |
| Целевое назначение: | Производственно-практическое | |
| Целевая аудитория: | Промышленность | |
| Дата издания: | 2018 | |
| Дата загрузки: | 28.11.2020 | |
| Издательство: | Союз общественных объединений "Международное научно-техническое общество приборостроителей и метрологов" (Москва) | |