Главная
» Электронная библиотека » Application of the Selective Silicon Etching Methods for Estimation of the Wafers Quality in the Micromechanical Sensors
Application of the Selective Silicon Etching Methods for Estimation of the Wafers Quality in the Micromechanical Sensors
ИР автоматически получен из ЭБС Scoupus
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Печерская Екатерина Анатольевна [90]  , Абдуллин Фархад Анвярович [0] , Печерский Анатолий Вадимович [10] , Артамонов Дмитрий Владимирович [0] , Николаев Кирилл Олегович [0] , Николаев Кирилл Олегович [0] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2019 | |
| Издательство: | Издательство Национального исследовательского университета Высшая школа экономики (НИУ ВШЭ) | |
| Место опубликования: | 2019 International Seminar on Electron Devices Design and Production, SED 2019 - Proceedings | |
| Целевая аудитория: | Исследователь | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Печерская Е.А. | |
| DOI: | 10.1109/SED.2019.8798467 | |
| Библиографическая ссылка: | F. A. Abdullin, V. E. Pautkin, E. A. Pecherskaya, A. V. Pecherskiy, D. V. Artamonov and K. O. Nikolaev, "Application of the Selective Silicon Etching Methods for Estimation of the Wafers Quality in the Micromechanical Sensors," 2019 International Seminar on Electron Devices Design and Production (SED), Prague, Czech Republic, 2019, pp. 1-4. doi: 10.1109/SED.2019.8798467 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85071940181&origin=inward | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Вне ПГУ | |
| Дата размещения: | 20.09.2019 | |
| Владелец: | Печерская Екатерина Анатольевна | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1569000029  |