Application of the Selective Silicon Etching Methods for Estimation of the Wafers Quality in the Micromechanical Sensors

ИР автоматически получен из ЭБС Scoupus
Категория: техника
Авторы (ПГУ): Печерская Екатерина Анатольевна [90]  , Абдуллин Фархад Анвярович [0]  , Печерский Анатолий Вадимович [10]  , Артамонов Дмитрий Владимирович [0]  , Николаев Кирилл Олегович [0]  , Николаев Кирилл Олегович [0]  
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2019
Издательство: Издательство Национального исследовательского университета Высшая школа экономики (НИУ ВШЭ)
Место опубликования: 2019 International Seminar on Electron Devices Design and Production, SED 2019 - Proceedings
Целевая аудитория: Исследователь
Целевое назначение: Научное
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: Печерская Е.А.
DOI: 10.1109/SED.2019.8798467
Библиографическая ссылка: F. A. Abdullin, V. E. Pautkin, E. A. Pecherskaya, A. V. Pecherskiy, D. V. Artamonov and K. O. Nikolaev, "Application of the Selective Silicon Etching Methods for Estimation of the Wafers Quality in the Micromechanical Sensors," 2019 International Seminar on Electron Devices Design and Production (SED), Prague, Czech Republic, 2019, pp. 1-4. doi: 10.1109/SED.2019.8798467
Внешняя веб-ссылка: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85071940181&origin=inward
Язык: Русский
Место хранения:Вне ПГУ
Дата размещения:20.09.2019
Владелец:Печерская Екатерина Анатольевна
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/1569000029