Технологические аспекты формирования первичных измерительных преобразователей микромеханических акселерометров

Категория: техника
Авторы (ПГУ): Цыпин Борис Вульфович [25]  , Торгашин Сергей Иванович [25]  , Папко Антонина Алексеевна [25]  , Пауткин Валерий Евгеньевич [25]  
Тип: Статья
Вид: электронная копия бумажного издания
Количество частей: 1
Год издания: 2019
Издательство: Издательство "Новые технологии"
Где опубликовано: Журнал
Целевая аудитория: Исследователь, Промышленность
Целевое назначение: Научное, Производственно-практическое
Отрасль науки: 05.11.01 Приборы и методы измерения (по видам измерений)
Лицензия: Нет ограничений
Ограничения: Нет ограничений
Правообладатель: С.И. Торгашин, А.А. Папко, В.Е. Пауткин, Б.В. Цыпин
ISSN: 1813-8586
УДК: 531.768
Библиографическая ссылка: Технологические аспекты формирования первичных измерительных преобразователей микромеханических акселерометров / С.И. Торгашин, А.А. Папко, В.Е. Пауткин, Б.В. Цыпин // Нано- и микросистемная техника. – 2019. – Т. 21. – № 6. – С. 341-346.
Страницы (с ... по ...): с 341 по 346
Том: 21
Внешняя веб-ссылка: https://elibrary.ru/item.asp?id=38213934
Язык: Русский
Место хранения:ИР доступен по договору ПГУ с внешней ЭБ
Дата размещения:22.11.2019
Владелец:Цыпин Борис Вульфович
Ссылка на ресурс:
http://elib.pnzgu.ru/library/1574330944
Формат: Не указан