Главная
» Электронная библиотека » Особенности применения схем компенсации углового растравливания при формировании МЭМС-структур
Особенности применения схем компенсации углового растравливания при формировании МЭМС-структур
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Торгашин Сергей Иванович [50]  , Пауткин Валерий Евгеньевич [50] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2019 | |
| Издательство: | Издательство "Новые технологии" | |
| Где опубликовано: | Журнал | |
| Целевая аудитория: | Исследователь, Промышленность | |
| Целевое назначение: | Научное, Производственно-практическое | |
| Отрасль науки: | 05.11.16 Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям) | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | АО "НИИФИ" | |
| ISSN: | 18-13-8586 | |
| УДК: | 531.7:661:68 | |
| Библиографическая ссылка: | Особенности применения схем компенсации углового растравливания при формировании МЭМС-структур / С.И. Торгашин, В.Е. Пауткин // Нано- и микросистемная техника. – 2019. – Т. 21. – № 3. – С. 186-192. | |
| Страницы (с ... по ...): | с 186 по 192 | |
| Том: | 21 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://elibrary.ru/item.asp?id=37145207 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | ИР доступен по договору ПГУ с внешней ЭБ | |
| Дата размещения: | 25.11.2019 | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1574675104  | |
| Формат: | Не указан |