Главная
» Электронная библиотека » Конструктивно-технологические решения, определяющие геометрию формируемых микромеханических структур при анизотропном травлении кремния
Конструктивно-технологические решения, определяющие геометрию формируемых микромеханических структур при анизотропном травлении кремния
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Торгашин Сергей Иванович [33]  , Пауткин Валерий Евгеньевич [33] , Спицына Ксения Юрьевна [33] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2017 | |
| Издательство: | Союз общественных объединений "Международное научно-техническое общество приборостроителей и метрологов" (Москва) | |
| Где опубликовано: | Журнал | |
| Целевая аудитория: | Промышленность | |
| Целевое назначение: | Производственно-практическое | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Научно-исследовательский институт физических измерений | |
| ISSN: | 2071-7865 | |
| Библиографическая ссылка: | Журнал «Приборы» - №11 (209) – 2017 – С. 40-45 | |
| Страницы (с ... по ...): | 40-45 | |
| Том: | 11 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=30754128 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Вне ПГУ | |
| Дата размещения: | 28.11.2020 | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1606516268  | |
| Формат: | Не указан |