Главная
» Электронная библиотека » Особенности травления высолегированного p+-кремния в технологии микроэлектромеханических систем
Особенности травления высолегированного p+-кремния в технологии микроэлектромеханических систем
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Пауткин Валерий Евгеньевич [50]  , Спицына Ксения Юрьевна [50] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2018 | |
| Издательство: | Союз общественных объединений "Международное научно-техническое общество приборостроителей и метрологов" (Москва) | |
| Где опубликовано: | Журнал | |
| Целевая аудитория: | Промышленность | |
| Целевое назначение: | Производственно-практическое | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Научно-исследовательский институт физических измерений | |
| ISSN: | 2071-7865 | |
| Библиографическая ссылка: | Журнал «Приборы» - №6 (216) – 2018 – С. 29-32. | |
| Страницы (с ... по ...): | 29-32 | |
| Том: | 216 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=35165976 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | Вне ПГУ | |
| Дата размещения: | 28.11.2020 | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1606516662  | |
| Формат: | Не указан |