ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Головяшкин Алексей Николаевич [100]  | |
| Аннотация: | Рассмотрены основные функциональные элементы вакуумных установок, средств откачки и контроля вакуума, методы контроля толщины тонких пленок и принцип работы промышленных вакуумных установок. Представлено описание лабораторных работ по каждому изучаемому раз-делу. Приведены необходимые справочные данные для проведения расчетов, обработки экспериментальных результатов и зависимостей. Даны рекомендации по оформлению отчета. Учебное пособие подготовлено на кафедре «Нано-и микроэлектроника» Пензенского государственного университета и предназначены для студентов направлений подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», а также других направлений, образовательные программы которых предусматривают изучение тонкопленочной технологии. | |
| Тип: | Учебное пособие | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2021 | |
| Издательство: | Издательство ПГУ | |
| Индексация: | Индексация отсутствует | |
| Целевая аудитория: | Учащийся, Преподаватель | |
| Целевое назначение: | Учебное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Издательство ПГУ | |
| ISBN: | 978-5-907456-21-1 | |
| УДК: | 621.384 (075.8) | |
| Библиографическая ссылка: | Вакуумное оборудование напыления тонких пленок : учеб. пособие / А. Н. Головяшкин. - Пенза : Изд-во ПГУ, 2021.-76 с. | |
| Общий объем (п.л.): | 4,42 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | ПГУ, вне электронной библиотеки | |
| Дата размещения: | 10.11.2021 | |
| Владелец: | Головяшкин Алексей Николаевич | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1636568514  | |
| Формат: | Не указан |