Главная
» Электронная библиотека » Моделирование процесса распыления магнетронного распыления в импульсном режиме
Моделирование процесса распыления магнетронного распыления в импульсном режиме
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Баннов Валерий Яковлевич [50]  , Суханкина Наталья Васильевна [0] , Головяшкин Алексей Николаевич [50] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2021 | |
| Издательство: | Издательство ПГУ | |
| Где опубликовано: | Сборник трудов симпозиума | |
| Индексация: | РИНЦ | |
| Целевая аудитория: | Преподаватель | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | Баннов В.Я., Суханкина Н.В., Головяшкин А.Н. | |
| ISSN: | 2220-6418 | |
| УДК: | 621.382 | |
| Библиографическая ссылка: | Баннов В.Я., Суханкина Н.В., Головяшкин А.Н. Моделирование процесса распыления магнетронного распыления в импульсном режиме. Труды международного симпозиума Надежность и качество. 2021. Т. 2. С. 249-252 | |
| Страницы (с ... по ...): | 249-252 | |
| Том: | 2 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | ПГУ, вне электронной библиотеки | |
| Дата размещения: | 19.11.2021 | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1637341341  | |
| Формат: | Не указан |