Главная
» Электронная библиотека » ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МЭМС НА БАЗЕ СТРУКТУРЫ "КРЕМНИЙ НА ДИЭЛЕКТРИКЕ"
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МЭМС НА БАЗЕ СТРУКТУРЫ "КРЕМНИЙ НА ДИЭЛЕКТРИКЕ"
| Категория: | техника | |
| Авторы (ПГУ): | Баннов Валерий Яковлевич [0]  , Головяшкин Алексей Николаевич [50] , Соловьев Виталий Анатольевич [50] | |
| Тип: | Статья | |
| Вид: | электронная копия бумажного издания | |
| Количество частей: | 1 | |
| Год издания: | 2024 | |
| Издательство: | Изд. ПГУ | |
| Где опубликовано: | Сборник трудов симпозиума | |
| Место опубликования: | ПГУ | |
| Индексация: | РИНЦ | |
| Целевая аудитория: | Преподаватель | |
| Целевое назначение: | Научное | |
| Лицензия: | Нет ограничений | |
| Ограничения: | Нет ограничений | |
| Правообладатель: | БАННОВ В.Я., ГОЛОВЯШКИН А.Н., СОЛОВЬЕВ В.А., СУХАНКИН Д.Ю., КОЛЕСНИКОВ А.В. | |
| ISSN: | 2220-6418 | |
| УДК: | 621.382 | |
| Библиографическая ссылка: | Полупроводниковая МЭМС на базе структуры «кремний на диэлектрике» / В. Я. Баннов, А. Н. Головяшкин, В. А. Соловьев [и др.] // Труды международного симпозиума "Надежность и качество". – 2024. – Т. 2. – С. 160-164. – EDN WLHSZB. | |
| Страницы (с ... по ...): | 160-164 | |
| Том: | 2 | |
| Внешняя веб-ссылка: | https://elibrary.ru/item.asp?id=67930105 | |
| Язык: | Русский | |
| Место хранения: | ПГУ, вне электронной библиотеки | |
| Дата размещения: | 22.10.2024 | |
| Владелец: | Цуприк Александр Дмитриевич | |
| Ссылка на ресурс: | http://elib.pnzgu.ru/library/1729591221  | |
| Формат: | Не указан |